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天眼查APP顯示，近日，沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司申請(qǐng)的“一種晶圓彩色圖像一致性評(píng)價(jià)與缺陷檢測(cè)方法”專利公布。 摘要顯示，本發(fā)明公開一種晶圓彩色圖像一致性評(píng)價(jià)與缺陷檢測(cè)方法。首先從圖像質(zhì)量、物理屬性、像素差分等三個(gè)維度對(duì)晶圓彩色圖像的一致性進(jìn)行評(píng)價(jià)，據(jù)此調(diào)整與監(jiān)控機(jī)臺(tái)硬件，保證晶圓彩色圖像的一致性與高質(zhì)量，檢測(cè)時(shí)基于晶粒最小重復(fù)單元來將待測(cè)晶圓圖像與標(biāo)準(zhǔn)模板進(jìn)行差分，再通過多通道的加權(quán)整合來最終確定缺陷區(qū)域。該方法可提高缺陷檢測(cè)效果的準(zhǔn)確性與不同機(jī)臺(tái)結(jié)果的一致性，且實(shí)現(xiàn)與計(jì)算過程簡(jiǎn)單易行，可進(jìn)一步滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)的需求。
